X14型高进高出洁净减压阀
| 技术参数 |
| 最大输入压力：3000 psig |
| 可控输出压力：0至350/600/900/1500 psig |
| 工作温度：-20至+70℃ |
| 阀体螺纹：1/4"VCR |
| 泄漏率：内≤1*10^-9atm cc/sec He、外≤2*10^-9atm cc/sec He |
| RA:10μin |
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部件材质 |
| 阀体、提升阀针、提升阀座：SUS316L |
| 提升阀密封垫：PCTFE/PEEK |
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膜片：SUS316L/Hc-22
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| 产品特点 |
| 单级式调压结构，无穿孔膜片硬密封降低产品泄漏率 |
| 内部电解抛光处理 |
| 百级洁净室组装、包装 |
| 采用精度1.6KL压力表 |
| 【注】使用压力宜在压力表全量程的2/3内。 |
