X17(L)型中流量洁净减压阀
技术参数 | ||
X17(L)最大输入压力:3000(900)psig | ||
可控输出压力:0至/35/60/90/150/240/350psig | ||
工作温度:-20至+60℃ | ||
阀体螺纹:1/2"VCR | ||
泄漏率:内≤1*10^-10atm cc/sec He、外≤2*10^-9atm cc/sec He | ||
RA:10μin | ||
部件材质 |
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阀体、提升阀针、提升阀座:SUS316L/SUS316VAR | ||
提升阀密封垫:PCTFE/PEEK | ||
膜片:SUS316L/Hc-22
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产品特点 | ||
单级式调压结构,波纹式无穿孔膜片硬密封降低产品泄漏率 | ||
内部电解抛光处理 | ||
百级洁净室组装、包装 | ||
采用精度1.6KL压力表 | ||
【注】使用压力宜在压力表全量程的2/3内;进气压力低于 | ||
900psi,宜选型X17L |