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X18(L)型大流量洁净减压阀

技术参数    
X18(L)最大输入压力:3000(900)psig    
可控输出压力:0至/35/60/90/150/240/350psig    
工作温度:-20至+60℃    
阀体螺纹:3/4"VCR/1/2"VCR    
泄漏率:内≤1*10^-10atm cc/sec He、外≤2*10^-9atm cc/sec He    
RA:10μin    

 

部件材质

   
阀体、提升阀针、提升阀座:SUS316L/SUS316VAR    
提升阀密封垫:PCTFE/PEEK    

膜片:SUS316L/Hc-22

 

产品特点    
单级式调压结构,无穿孔膜片硬密封降低产品泄漏率    
内部电解抛光处理    
百级洁净室组装、包装    
采用精度1.6KL压力表    
【注】使用压力宜在压力表全量程的2/3内;进气压力低
于900psi,宜选型X18L